十数ミクロンの細溝を形成した基板に対し、変形させずに強固な接合が可能！ |
石英/ガラス平面融着技術 |
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| 石英／ガラス平面融着技術は軟化点以下の低い温度領域で広い面同士を強固に接合することが可能です。このため、バーナーを用いた火加工では困難な加熱変形の少ない高精度の組立接合ができるばかりでなく、通常の加工方法では不可能な中空溝構造部品などを容易に製造することができます。
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| 石英ブロック平面融着例 |
石英中空溝接合例 |
パイレックス異形細管形成例 |
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石英/ガラスのチューブ・ロッドに対し標準仕様にないφ８ｍｍ以下の任意サイズで細線加工を行ないます。
当社の方法を用いると、寸法精度を高精度で制御する必要のある高精密細管や角型・角穴形状のフローセル、ハーフ管など各種異形形状を持つ細管を安価に生産することが可能です。 |
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内径精度：±0.01mm
パイレックス高精密細管 |
角穴フローセル試作例 |
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角穴部拡大写真
（0.2mm□） |
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石英・ホウケイ酸ガラスマイクロチップ接合 |
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平面融着技術は材料の軟化点より低い低温領域で接合を行うため、溝幅100μm以下の微細な溝を変形させることなく強固な接合を行うことができます。
（ホウケイ酸ガラス製マイクロチップ：溝幅100μm 溝深さ40μm エッチング加工) |
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マイクロチップ多層基板一括接合 |
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| 複数枚の石英やガラス基板を同時に一括接合することができます。基板の上に形成された微細溝を層間で連結し、複雑な３次元の微細溝構造を持ったマイクロチップを作成することができます。
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パイレックス基板４枚同時一括接合例 |
